クレファイン

半導体メーカーF社 開発製造部

デバイスを提供する上で、最も重要なことは信頼性…

検査工程の静電気放電を大幅に低減し、納入先にも認められた樹脂材料とは

デバイスを提供する上で、最も重要なことは信頼性…検査工程の静電気放電を大幅に低減し、納入先にも認められた樹脂材料とは

解決

解決のポイント

  • クレハグループの樹脂材料Krefine(クレファイン)は、汎用エンプラからスーパーエンプラまで幅広いポリマーの精密射出成形が可能

  • 試作品を実際に使ってみたところ、静電気放電は大幅に低減した

  • 納入先の合意も得て、ハンドラ構成部品にクレファインの採用を決定

納入先も納得!ハンドラ構成部品にクレファインの採用を決定!

解決策を求めインターネットで情報収集を進めていたT氏は、ESD対策事例が掲載されたHPを見つけ、Krefine(クレファイン)という静電気対策樹脂材料にたどり着きます。

事例では、クレファインを採用することで、半導体メーカーと装置メーカーがそれぞれのESDに関する課題を解決していました。さらに厳密なESD対策として、クレファインとイオナイザーを併用したり、装置部品や搬送トレーにクレファインを採用している例もあり、T氏は、この静電気対策樹脂材料に注目しました。

「当社もハンドラの部品にクレファインを採用すれば、検査工程時のESD発生を防げるのではないかと考えました。」(T氏)

T氏は早速HPから問い合わせ、装置メーカーにも声をかけて一緒に説明を受けることにしました。そして、自社の抱える課題と、電気抵抗範囲、耐熱性、耐薬品性、機械特性、デザインなど、気になる点をまとめて相談したのです。

「クレファインは、汎用エンプラからスーパーエンプラまで幅広いポリマーの精密射出成形が可能とのことでした。細かい注文をしましたが、適切なグレードを提案してもらうことができて、ハンドラ部品を製造する目途が立ちました。」(T氏)

T氏は早速、提案してもらった内容でのテストソケット試作を装置会社に依頼。試作品を実際に使ってみたところ、静電気放電は大幅に低減しました。その後、クレハグループ会社の協力も受けながらテストと評価を繰り返し実施し、検査工程時のESD発生という課題が解決に向かうことを確信します。

その後、納入先の合意も得て、ハンドラ構成部品にクレファインの採用を決定しました。現在は装置メーカーと協力しながら導入を進めています。

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